低溫等離子是繼固態、液態和氣態之后的第四種物質狀態。當施加的電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被分解，產生電子、各種離子、原子和自由基的混合物。雖然放電過程中電子溫度很高，但重粒子的溫度很低，整個系統處于低溫狀態，因此稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣污染物，使污染物在很短的時間內分解，以及各種后續反應達到降解污染物的目的。
過程一：高能電子的直接轟擊
過程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O-
過程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O
過程四：分子碎片+氧氣的反應
低溫等離子廢氣處理設備的技術優勢
1.介質阻擋放電在低溫下產生高電子能和高等離子體密度，可達到普通等離子體技術(電暈放電)的1500倍，并能破壞幾乎所有有機廢氣的分子鏈。
技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3≤15m/s，也取得了良好的處理效果。
3.自動化程度高，設備啟動和停得很快，并按您的意愿打開。對于一些廢氣不是連續生產的收集點，通過循環啟動和停止可以節省成本。